广州惠临空气分离设备有限公司对于用气量大，且要求高纯度的客户，制氮机系统先生产低纯度的氮气，然后进行碳载纯化设备，生产出高纯度的氮气，可以节省更多的成本。
惠临公司的制氮机碳载纯化装置技术说明：
本装置由加热器、除氧塔、冷却器、干燥塔、精过滤器、角座式气动阀、电磁阀、电气控制系统等组成.
1、除氧：
99.9%氮气经进气流量计FL1后进入换热器，再到加热器，加热氮气到300-350℃，然后进入除氧塔I（或Ⅱ）内燃烧除氧。当I（或Ⅱ）除氧塔工作时，另一个备用，一般3个月手动切换一次。
2、冷却：
经除氧后氮气与冷却器中水换热冷却到常温后输出。
3、除水及CO2：
经冷却后氮气进入干燥塔I及干燥塔II及自动切换阀组成的吸附器内除水及CO2，从而输出无水，无氧氮气。干燥塔I及干燥塔II的工作与再生由可编程序控制器自动控制，切换周期为24小时。
4、再生：
当干燥塔I（或II）工作时，干燥塔II（或I）再生，再生完成后吹冷备用。
